Sistema de deposición de fotorresinas sobre películas delgadas
| dc.carrera.ingenieria | Ingeniería eléctrica y electrónica | es_ES |
| dc.contributor.author | Zambrano Orpinel, Francisco Jesús | |
| dc.date.accessioned | 2017-03-23T22:01:18Z | |
| dc.date.available | 2017-03-23T22:01:18Z | |
| dc.date.issued | 2017-03-23 | |
| dc.description | En el capítulo 2 se presenta una breve explicación de los temas involucrados en el desarrollo de este trabajo. En el capítulo 3 se plantea el diseño y desarrollo de las etapas que conforman el sistema. En el capítulo 4 se presentan los resultados obtenidos sobre la deposición de una fotorresina positiva en un sustrato de vidrio. En el capítulo 5 se muestran las conclusiones de este trabajo, junto con algunas reflexiones y posibles trabajos a futuro. Por último en la sección de apéndices se anexan las figuras que muestran los diagramas, PCB´s, imágenes, hojas de especificaciones y el código de programación. | es_ES |
| dc.description.abstract | El presente trabajo tiene como objetivo el diseño y desarrollo de un sistema de deposición de resinas fotosensibles sobre sustratos con depósitos con películas delgadas de materiales conductores o semiconductores. | es_ES |
| dc.director.trabajoescrito | Ruvalcaba Morales, Raúl | |
| dc.identifier.uri | http://132.248.52.100:8080/xmlui/handle/132.248.52.100/12327 | |
| dc.language.iso | es | es_ES |
| dc.subject | Microlitografía | es_ES |
| dc.subject | Fuentes de Alimentación | es_ES |
| dc.subject | películas delgadas | es_ES |
| dc.subject | Deposición por Giro | es_ES |
| dc.subject | Cuartos Limpios para peliculas | es_ES |
| dc.subject | Fotorresinas sobre peliculas delgadas | es_ES |
| dc.subject | Sistema de deposicion de fotorresinas | es_ES |
| dc.title | Sistema de deposición de fotorresinas sobre películas delgadas | es_ES |
| dc.type | Tesis | es_ES |