Sistema de deposición de fotorresinas sobre películas delgadas - Zambrano Orpinel, Francisco Jesús (My University, 2017)
El presente trabajo tiene como objetivo el diseño y desarrollo de un sistema de deposición de resinas fotosensibles sobre sustratos con depósitos con películas delgadas de materiales conductores o semiconductores.
En el capítulo 2 se presenta una breve explicación de los temas involucrados en el desarrollo de este trabajo. En el capítulo 3 se plantea el diseño y desarrollo de las etapas que conforman el sistema. En el capítulo 4 se presentan los resultados obtenidos sobre la deposición de una fotorresina positiva en un sustrato de vidrio. En el capítulo 5 se muestran las conclusiones de este trabajo, junto con algunas reflexiones y posibles trabajos a futuro. Por último en la sección de apéndices se anexan las figuras que muestran los diagramas, PCB´s, imágenes, hojas de especificaciones y el código de programación.
Keywords: Microlitografía; Fuentes de Alimentación; películas delgadas; Deposición por Giro; Cuartos Limpios para peliculas; Fotorresinas sobre peliculas delgadas; Sistema de deposicion de fotorresinas