Parámetros fundamentales para el diseño de interruptores RF MEMS tipo viga voladiza con actuación electrostática - Sierra Benavidez, Salvador Emilio (My University, 2017)
Parámetros para el diseño de interruptores RF MEMS tipo viga voladiza con actuación electrostática
Keywords: Interruptores RF MEMS; Viga voladiza; Actuación electrostática; Parámetros electromecánicos estáticos; Parámetros electromecánicos dinámicos; Parámetros electrodinámicos