Propuesta de diseño de un brazo-antebrazo para un robot de configuración tipo SCARA con rodamientos magnéticos para su implementación en cuartos limpios
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Abstract
En la industria automatizada de la microelectrónica (en particular en la utilización de discos/obleas de silicio), existe una tendencia a miniaturizar los componentes, por lo que las partículas generadas por la fricción entre las partes de los robots que trabajan en un ambiente limpio, pueden llegar a ser del mismo tamaño que las pistas de los circuitos y perjudicar su funcionamiento.
Description
En el presente trabajo se hace la propuesta de diseño de un brazo-antebrazo para un robot tipo SCARA que sugiere la implementación de rodamientos magnéticos radiales para minimizar la generación de partículas para su utilización en un ambiente limpio.